由于治具檢具在使用過程中經常受到工件的摩擦與碰撞，而其本身又必須具備非常高的尺寸精確性和恒定性，因此，要求有以下性能。

高硬度和高耐磨性：以此保證在長期使用中不致被很快磨損，而失去其精度。

高的尺寸穩定性：以保證在使用和存放過程中保持其形狀和尺寸的恒定。

足夠的韌性：以保證在使用時不致因偶然因素——碰撞而損壞。

在特殊環境下具有耐腐蝕性。

調質處理：其目的是獲得回火索氏體組織，以減少淬火變形和提高機械加工的光潔度。

淬火和低溫回火：檢具鋼為過共析鋼，通常采用不完全淬火加低溫回火處理，在保證硬度的前提下，盡量降低淬火溫度并進行預熱，以減少加熱和冷卻過程中的溫差及淬火應力。檢具的淬火方式為油冷（20～30℃），不宜采用分級淬火和等溫淬火，只有在特殊情況下才予以考慮，一般采用低溫回火，回火溫度為150～160℃，回火時間≥4～5h。

冷處理：高精度檢具在淬火后必須進行冷處理，以減少殘余奧氏體量，從而增加尺寸穩定性。冷處理溫度一般為—70～—80℃，并在淬火冷卻到室溫后立即進行，以免殘余奧氏體發生陳化穩定。

時效處理：為了進一步提高尺寸穩定性，經淬火、回火后，在120～150℃進行24～36h的時效處理，這樣可消除殘余內應力，大大增加尺寸穩定性而不降低其硬度。

治具檢具鋼的熱處理除了要進行過共析鋼的正常熱處理，即不完全淬火+低溫回火之外，還需要有三個附加的熱處理工序，即淬火之前進行調質處理、正常淬火處理之間的冷處理、正常熱處理之后的時效處理。